近期，由中國工程院、國家制造強(qiáng)國建設(shè)戰(zhàn)略咨詢委員會指導(dǎo)，國家產(chǎn)業(yè)基礎(chǔ)專家委員會編制的《產(chǎn)業(yè)基礎(chǔ)創(chuàng)新發(fā)展目錄（2021年版）》發(fā)布，國林科技子公司青島國林半導(dǎo)體技術(shù)有限公司的半導(dǎo)體制程專用超純高濃度臭氧裝置、新疆國林新材料有限公司的基于臭氧法的晶體乙醛酸一水合物制備基礎(chǔ)工藝分別入選環(huán)保、低碳及資源綜合利用裝備領(lǐng)域基礎(chǔ)制造工藝及裝備。

《產(chǎn)業(yè)基礎(chǔ)創(chuàng)新發(fā)展目錄（2021年版）》在《工業(yè)“四基”發(fā)展目錄（2016 年版）》基礎(chǔ)上，新增了工業(yè)基礎(chǔ)軟件，構(gòu)成了“五基”（基礎(chǔ)零部件和元器件、基礎(chǔ)材料、工業(yè)基礎(chǔ)軟件、基礎(chǔ)制造工藝及裝備、產(chǎn)業(yè)技術(shù)基礎(chǔ)）創(chuàng)新發(fā)展目錄，成為我國完善產(chǎn)業(yè)基礎(chǔ)頂層設(shè)計(jì)的重要組成，也是產(chǎn)業(yè)基礎(chǔ)再造工程實(shí)施的重要抓手。

近年來，國林科技不僅深耕自身臭氧發(fā)生器生產(chǎn)制造領(lǐng)域，更是加大科研投入，加強(qiáng)技術(shù)攻關(guān)，在半導(dǎo)體清洗、新材料研發(fā)等領(lǐng)域不斷取得新的突破。

青島國林半導(dǎo)體技術(shù)有限公司研發(fā)的半導(dǎo)體制程專用超純高濃度臭氧裝置，采用無機(jī)超純材料與超純生產(chǎn)工藝，實(shí)現(xiàn)了極低金屬離子析出型的高純度、高濃度的臭氧制造，達(dá)到半導(dǎo)體行業(yè)超高潔凈度要求；通過自主創(chuàng)新實(shí)現(xiàn)整機(jī)與核心部件國產(chǎn)化。

圖一 電子級超純臭氧發(fā)生器

新疆國林新材料有限公司的基于臭氧法的晶體乙醛酸一水合物制備基礎(chǔ)工藝，經(jīng)過十余年的研發(fā)和實(shí)驗(yàn)，解決了臭氧氧化順丁烯二酸酐法生產(chǎn)晶體乙醛酸一水合物的技術(shù)難題，形成了自有知識產(chǎn)權(quán)的臭氧氧化順丁烯二酸酐法乙醛酸一水合物專有技術(shù)，該技術(shù)在環(huán)境保護(hù)、安全生產(chǎn)、產(chǎn)品質(zhì)量及能耗物耗方面均取得了重大突破。臭氧的利用率達(dá)到90%以上，大幅度降低了生產(chǎn)成本，改善了產(chǎn)品質(zhì)量，提高了產(chǎn)品競爭力，能夠極大的促進(jìn)乙醛酸下游產(chǎn)品的品質(zhì)提升和產(chǎn)品研發(fā)，并占領(lǐng)乙醛酸高端應(yīng)用市場。

圖三 乙醛酸晶體